JEL-薄物ウェーハ対応ロボット STCR4160S（反転機構付）(Twin-arm robot for thin wafer with flip unit)

www.jel-robot.co.jp/products/S...
薄物ウェーハをジェーイーエル製ベルヌーイ・チャックを使用し保持。
高剛性 ・ アーム第３関節換算3kgf（チャック、ワーク含む)。
ステッピングモータを採用し、消費電力を抑えた省エネ設計。
www.jel-robot.com/products/STC...
Transfer for thin wafers by using our Bernoulli type end-effector.
High rigidity・Payload capacity: 3kgf (calculated for the arm 3rd joint/including end-effector & wafer)
Energy-saving design by installing stepping motor in all axes.