정밀 비접촉 3차원측정기 PLUTO-FB

정밀 비접촉 3차원측정기
PLUTO-FB
Fixed Bridge Type Non-Contact CMM
덕인의 정밀 비접촉 3차원측정기 PLUTO-FB는 Fixed Bridge 타입으로 흔들림과 오차 없이 빠르고 정밀한 측정이 가능합니다.
반도체 장비의 에칭 공정에 사용되는 Silicon Electrode 측정으로 Wafer 표면에 Plasma가 균일하게 분사 될 수 있도록 Gas hole의 정확한 치수 측정하였습니다.
PLUTO-FB는 논스톱 측정을 통해 초당 3~4개 원형 측정으로 기존 장비 대비 Tact time이 8배 빨라진 것을 확인 할 수 있습니다.
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