ฝัง
- เผยแพร่เมื่อ 9 ธ.ค. 2023
- 可支援奈米級薄膜，同時滿足高深寬比、多成分均勻、薄膜精準披覆等先進製程需求，其中最獨特之處在於「All in One」的腔體設計，將多道鍍膜製程整合在一起，打破過去需轉換多種設備的情況，有效減少製程中的傳輸污染，提高鍍膜品質和生產效率。
--------------------------------------------------------
【想知道更多資訊，請追蹤工研院】
👉工研院官網：itri.org.tw/
👉工研院TH-cam頻道： / @itrivideo
👉工研院Facebook粉絲團：bit.ly/2NqSOuG
