東京エレクトロンの半導体装置の仕組みと技術力を詳しく解説。CVD、RIE、拡散炉などの仕組みを解説

[@mofmof-investor]

※7分のところの解説、勘違いしていました。S-Dがソースドレイン、Metal Gateと書いているのがゲートでした。。すみません。リクエストいただいた東京エレクトロンさんの解説です。マニアックすぎるかもしれませんが、楽しく解説させていただきました(タイアップお待ちしてます(笑))。特にメモリホール加工のRIEは本当に苦労した記憶があるので、懐かしく思いました。僕は４層から64層まで研究開発していましたが、メモリホール加工は苦労の連続でした。それまで多層の積層を垂直に穴を掘るというのはこれまでに誰もやったことがない技術で、それを素早く大量にまっすぐ深く掘るというのはかなりの困難でした。ドライ屋さん、インテグレーション部隊などと密にやりとりし、何度も何度も実験を検査を繰り返し、時には失敗し炉を汚染させたり、ベベルが剣山のようになり出すとまみれになったり、四苦八苦して苦労していました。。動画でもお話ししましたが、1枚加工に2～3時間かかっていたので、装置のキャパを圧迫し対流が起きて日々、どのWaferを加工するかの優先順位調整をしたりもしました。積層も、Poly積層からSiN-SiO2積層に変更したり、、懐かしい思い出ですね。
ASMLとレーザーテックの解説
th-cam.com/video/qloh5We_Bv4/w-d-xo.html

[@takakoga0221]

メモリホールの間隔（穴と穴の間隔＝距離）はどれくらいですか？

[@ニコニコキング]

東京エレクトロンの動画ありがとうございました。
早々に解説あげて頂き感謝です！

[@mofmof-investor]

お役に立てれば嬉しいです✨

[@kendai7890]

ありがとうございます。

[@上の毛]

精密はどうですか？

[@mofmof-investor]

精密って会社名ですか？？

[@vector_mys]

@@mofmof-investor ダイシング装置2番手の東京精密のことだと思います

[@kendai7890]

久々ですねー

[@はにゃまる-c6l]

ディスコってどうですか？

[@mofmof-investor]

すみません、後工程の装置のことは僕は詳しくないですね、、🙇‍♂️

[@kendai7890]

TEL 多摩川、少しだけいました。首になりました。

[@たっくん-m3c]

あなたは浅村さんかな🤭🤭人違い🤔軍師くん知ってますか

[@mofmof-investor]

浅村さん？？誰ですかね😂笑

[@たっくん-m3c]

あなたのお名前は何ですか🐎

[@kendai7890]

もふもふは、不動産儲けすぎました?

[@vector_mys]

残業めっちゃ多いってほんとお？

[@mofmof-investor]

どうなのでしょうか？研究開発職は残業多いとは思います

[@take-take2511]

@@mofmof-investor 同級生が新卒で入ったんですけど、きつくてすぐ辞めちゃった

[@hiroshi-itou]

なぜエレクトロンしないのー