JEL 半導体搬送ロボット ウェーハアライメント対応真空搬送 STVCR

ウェーハアライメント対応真空搬送ロボット STVCR
・外付けのアライメントセンサにより、ウェーハを中心位置補正した状態で搬送可能
・ツインアーム採用により、ワーク交換時間の短縮
STVCR Vacuum robot with wafer alignment function
Enable to handle wafers correcting the wafer center position with the external alignment sensors
Twin arm reduces the wafer swap time