DTU Nanolab
DTU Nanolab
  • 95
  • 201 201
Dry Etch TPT Lecture - 6 Equipment for dry etching at Nanolab
In this video we give you an overview of the dry etch equipment we have here at DTU Nanolab. The overview is given in LabAdviser where you can always take a look at the updated version - if you have access to LabAdviser.
มุมมอง: 548

วีดีโอ

Dry Etch TPT Lecture - 5b Chamber conditioning and RF matching
มุมมอง 717หลายเดือนก่อน
In this video we describe the importance of chamber conditioning and the importance of good RF matching.
Dry Etch TPT Lecture - 5 Process tuning - process parameters
มุมมอง 930หลายเดือนก่อน
In this video we discuss the different equipment settings like chamber pressure, power to the plasma, gas flows and temperature and how they influence the etch characteristics.
Dry Etch TPT Lecture - 4 Etch Characteristics
มุมมอง 935หลายเดือนก่อน
In this video some of the etch characteristics is discussed - that is, the result of the etching on the sample being etched. We look at the etch rate uniformity over the sample with respect to structure sizes and etch loading area. We also look at different etching profiles and discuss etch selectivity between different materials.
Dry Etch TPT Lecture - 3b The Bosch process
มุมมอง 899หลายเดือนก่อน
In this video an etch mechanism called the Bosch process is explain in details. This is a passivation mechanism that is very important in silicon etching, especially deep silicon etching.
Dry Etch TPT Lecture - 3 Etch Mechanisms
มุมมอง 974หลายเดือนก่อน
This video explains the etch mechanisms in plasma etching/reactive ion etching. First the chemical etch mechanism is explained and how to select the process gas(es). Then the physical and reactive ion mechanisms are explained and the role of the ions in these mechanisms. At last an introduction to the passivation mechanisms is given.
Dry Etch TPT Lecture - 1 Motivation
มุมมอง 923หลายเดือนก่อน
This screencast video is the first lecture video on Dry Etching giving an introduction to dry etching and gives a motivation for when and why you need dry etching and why you need to learn more about this topic.
Dry Etch TPT Lecture - 2 Etch plasma and equipment layout
มุมมอง 820หลายเดือนก่อน
This video explains how the reactive ion etcher is working and how the plasma and ion bombardment are generated.
Dry Etch TPT Lecture - 0 Introduction to Dry Etch Equipment
มุมมอง 1.8Kหลายเดือนก่อน
This video presents one of our plasma etchers and shows the main elements of the machine.
Dry Etch TPT Training - ASE and AOE software: #4 The Bosch process
มุมมอง 369หลายเดือนก่อน
The recipe shows how the Bosch process is set up in the recipe editor
Dry Etch TPT Training - ASE and AOE software: #7 Process log
มุมมอง 305หลายเดือนก่อน
This video shows how to view the process log file after a process has been run on either the ASE or the AOE.
Dry Etch TPT Training - ASE and AOE software: #6 Removing a wafer from the load lock
มุมมอง 299หลายเดือนก่อน
This video shows how to operate the transfer window in order to remove a wafer from the load lock.
Dry Etch TPT Training - ASE and AOE software: #5 Run a process
มุมมอง 362หลายเดือนก่อน
This video shows how to select and to run a process using the AOE and ASE software. It also explains the “Process control - ICP” window showing all the process parameter value during the process.
Dry Etch TPT Training - ASE and AOE software: #3 Recipe editor
มุมมอง 414หลายเดือนก่อน
The video shows how to edit a process recipe.
Dry Etch TPT Training - ASE and AOE software: #2 Load and transfer
มุมมอง 415หลายเดือนก่อน
This video shows how to operate the ASE and AOE software when loading a wafer into the load lock and when transferring a wafer between the load lock and the chamber.
Dry Etch TPT Training - ASE and AOE software: #1 intro
มุมมอง 530หลายเดือนก่อน
Dry Etch TPT Training - ASE and AOE software: #1 intro
Dry Etch TPT Training - ICP’s and Pegasus software: #5 Automatic processing at the DRIE-Pegasus
มุมมอง 340หลายเดือนก่อน
Dry Etch TPT Training - ICP’s and Pegasus software: #5 Automatic processing at the DRIE-Pegasus
Dry Etch TPT Training - ICP’s and Pegasus software: #1 Overview
มุมมอง 501หลายเดือนก่อน
Dry Etch TPT Training - ICP’s and Pegasus software: #1 Overview
Dry Etch TPT Training - ICP’s and Pegasus software: #2 Recipes
มุมมอง 431หลายเดือนก่อน
Dry Etch TPT Training - ICP’s and Pegasus software: #2 Recipes
Dry Etch TPT Training - ICP’s and Pegasus software: #3 Running processes
มุมมอง 376หลายเดือนก่อน
Dry Etch TPT Training - ICP’s and Pegasus software: #3 Running processes
Dry Etch TPT Training Introduction to wafer loading and temperature controller
มุมมอง 1.1Kหลายเดือนก่อน
Dry Etch TPT Training Introduction to wafer loading and temperature controller
Dry Etch TPT Training - ICP’s and Pegasus software: #4 The Bosch processes
มุมมอง 366หลายเดือนก่อน
Dry Etch TPT Training - ICP’s and Pegasus software: #4 The Bosch processes
Wet benches or Fume hoods
มุมมอง 1334 หลายเดือนก่อน
Wet benches or Fume hoods
DTU presenting DTU Nanolab Phase 4
มุมมอง 1127 หลายเดือนก่อน
DTU presenting DTU Nanolab Phase 4
JEOL Training Video
มุมมอง 36910 หลายเดือนก่อน
JEOL Training Video
DTU safety version 2023
มุมมอง 249ปีที่แล้ว
DTU safety version 2023
Pouring of conrete floor basement B347
มุมมอง 60ปีที่แล้ว
Pouring of conrete floor basement B347
Safety at DTU Nanolab
มุมมอง 899ปีที่แล้ว
Safety at DTU Nanolab
Nanolab introduction course: Safety in the Cleanroom / Sikkerhed i renrum
มุมมอง 1.2Kปีที่แล้ว
Nanolab introduction course: Safety in the Cleanroom / Sikkerhed i renrum
Cleanroom access for contractors, technicians, and visitors at DTU Nanolab
มุมมอง 276ปีที่แล้ว
Cleanroom access for contractors, technicians, and visitors at DTU Nanolab

ความคิดเห็น

  • @Rocky-kf2mh
    @Rocky-kf2mh หลายเดือนก่อน

    Great explanation and presentation. I have a small question, As you mentioned about coating imperfections like comets, streaks and non - uniformity etc; what are the different ways to visually inspect the wafer as the coating resin is clear liquid it will be really hard to differentiate before and after coating? how can we visually inspect the failure modes of coating? If you could answer that would be greatly appreciated. Thanks

  • @sushilkumar-gk6xw
    @sushilkumar-gk6xw 6 หลายเดือนก่อน

    thanks a lot for a detailed explanation sir.

  • @LeNiu-nn2hm
    @LeNiu-nn2hm 6 หลายเดือนก่อน

    very helpful!

  • @prashantbisht6384
    @prashantbisht6384 10 หลายเดือนก่อน

    Its a piece of beauty 😅

  • @prashantbisht6384
    @prashantbisht6384 10 หลายเดือนก่อน

    Nice video 😊

  • @filiptopic3721
    @filiptopic3721 11 หลายเดือนก่อน

    Hi, and thank you for making your safety videos available to the public - these are a fantastic resource! I wanted to ask about the gloves you use, are they the North Silver Shield ones and how do you ensure the cleanroom compatibility, do you pre-clean them or can you use them as provided by your vendor?

  • @KawdoruTaon
    @KawdoruTaon ปีที่แล้ว

    This woman should be a professional tutorial maker. All her videos are very well explained.

  • @codenamehalf8326
    @codenamehalf8326 ปีที่แล้ว

    Lihography is such an interesting topic!

  • @aurobindadash4549
    @aurobindadash4549 ปีที่แล้ว

    How to unlock the data zone? Because in our system right click of mouse is not working in the process you discussed.

  • @chiragsharma5050
    @chiragsharma5050 ปีที่แล้ว

    I fall in love with this lab

  • @dr.nooralihasan6944
    @dr.nooralihasan6944 ปีที่แล้ว

    That was kind of you to record this video, It is very helpful. thanks a lot.🌹

  • @allresearchmahuva2440
    @allresearchmahuva2440 ปีที่แล้ว

    good new plant in india best reseach

  • @NawaDay-gb6dq
    @NawaDay-gb6dq 2 ปีที่แล้ว

    thanks for knowledge sharing.

  • @devinnemusemeche1273
    @devinnemusemeche1273 2 ปีที่แล้ว

    😉 ≋p≋r≋o≋m≋o≋s≋m

  • @CrocoduckRex
    @CrocoduckRex 2 ปีที่แล้ว

    Very helpful and concise. Thank you very much!

  • @bhadrame3755
    @bhadrame3755 2 ปีที่แล้ว

    Thnks

  • @bonaggi
    @bonaggi 2 ปีที่แล้ว

    Great video!

    • @chiragsharma5050
      @chiragsharma5050 ปีที่แล้ว

      This lab look cool do they teach corse in eglish

  • @geribbtes
    @geribbtes 2 ปีที่แล้ว

    Thanks for the heads-up! Next time, please more fancy animations :-)

  • @renjugaetec
    @renjugaetec 3 ปีที่แล้ว

    Very nice presentation

  • @zlli6278
    @zlli6278 3 ปีที่แล้ว

    many thanks !

  • @ywk7282
    @ywk7282 3 ปีที่แล้ว

    Thank you for the video I have a few questions. 1. I am wondering what exactly bleaching is? Is it a diffusion? 2. I am wondering what polarity change would do to allow to make pr 3. What does dose mean in 13:12? Dose is said throughout the lecture but I dont understand the exact meaning Thanks again for the lecture

  • @ywk7282
    @ywk7282 3 ปีที่แล้ว

    Thank you for the video 1.Does anyone know why SiOH is hydrophillic and SiH is Hydrophobic?? 2.and do we make the surface hydrophillic because hdms is also hydrophillic?

  • @markkraman886
    @markkraman886 3 ปีที่แล้ว

    This series of videos was really helpful, thanks a lot.

  • @alexanderwildish9483
    @alexanderwildish9483 3 ปีที่แล้ว

    Really helpful - very clear

  • @epowersofttechnology1549
    @epowersofttechnology1549 3 ปีที่แล้ว

    VERY GOOD

  • @cronopio12345
    @cronopio12345 3 ปีที่แล้ว

    Good lecture, thanks!

  • @ariadrou87
    @ariadrou87 4 ปีที่แล้ว

    Really helpful for refreshing our memories. Mange tak!

  • @user-mb3zf9zc5w
    @user-mb3zf9zc5w 4 ปีที่แล้ว

    very good presentation, can I know the name of the chemicals storage between the hoods and beside the shower???

    • @clausnielsen4903
      @clausnielsen4903 3 ปีที่แล้ว

      The chemical storage cabinets were custom made by the manufacturer of the fume hoods. It’s a German manufacturer called Arias. You can contact them at arias.de

    • @user-mb3zf9zc5w
      @user-mb3zf9zc5w 3 ปีที่แล้ว

      @@clausnielsen4903 thank you

  • @jinhoyun6891
    @jinhoyun6891 4 ปีที่แล้ว

    Hello, I am BRS TECHNOLOGY, a semiconductor company in Korea. I would like to know if you have DAD-321 and do you sell it. My email address is brsjh@brstech.co.kr

  • @xavcfh4253
    @xavcfh4253 4 ปีที่แล้ว

    Well done! I use this saw every day. Signed : a french from hell.

  • @TukerBiel
    @TukerBiel 4 ปีที่แล้ว

    What the difference between take a picture with pixel avg, line avg and continous avg?

  • @TukerBiel
    @TukerBiel 4 ปีที่แล้ว

    The aperture align and stigmation correction is always do in Pixel Avg?

  • @MerrittOutdoor
    @MerrittOutdoor 4 ปีที่แล้ว

    The plant I work at has 40000 gallons of it

    • @RoMan-lf8tc
      @RoMan-lf8tc 3 ปีที่แล้ว

      that stuff almost killed me, some bozo plant engineer connected a heated wet bench with 4% TMAH to a heat exhaust system, I got a lung full of vapor, ended up in the emergency room 3 days later, bp 188/118 at 130 bpm took 3 days to manifest, a little more and i would have had a heart attack, I`m lucky to be alive, do not underestimate the danger of this substance

    • @MerrittOutdoor
      @MerrittOutdoor 3 ปีที่แล้ว

      What plant were you at ?

    • @MerrittOutdoor
      @MerrittOutdoor 3 ปีที่แล้ว

      @@RoMan-lf8tc what plant was you working at ?

    • @RoMan-lf8tc
      @RoMan-lf8tc 3 ปีที่แล้ว

      @@MerrittOutdoor semiconductor plant in Palm Bay Florida

    • @MerrittOutdoor
      @MerrittOutdoor 3 ปีที่แล้ว

      @@RoMan-lf8tc I worked around it at a Basf chemical plant

  • @douro20
    @douro20 4 ปีที่แล้ว

    Are they required to have remote lockouts?

  • @grahamchadwick5242
    @grahamchadwick5242 5 ปีที่แล้ว

    where's your mask buddy?

  • @arnabkemi
    @arnabkemi 5 ปีที่แล้ว

    Very helpful!

  • @jhyland87
    @jhyland87 5 ปีที่แล้ว

    Where's part 3?

  • @MeysamAkhtar
    @MeysamAkhtar 5 ปีที่แล้ว

    Great tutorial videos. Thanks for uploading.

  • @allenzha7556
    @allenzha7556 6 ปีที่แล้ว

    Nice Video, thanks !